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真空等離子清洗機是氣體分子在真空和放電等特殊場合產生的物質。用于產生等離子體的清潔蝕刻裝置布置在密封容器中。真空等離子清洗機通過兩個電極形成電磁場，并使用真空泵達到一定的真空度。隨著氣體變得越來越稀薄，分子間距和分子活動的自由運動距離變得越來越長。在磁場的作用下，發生碰撞形成等離子體。與此同時，輝光將會出現。等離子體在電磁場中空間移動，轟擊待處理物體的表面，去除油污和表面氧化物、灰表面有機物和其他化學物質，從而達到表面處理、清洗和刻蝕的效果。選擇性表面改性可以通過等離子體處理工藝實現。
大氣等離子清洗機由等離子發生器、輸氣管道、等離子噴嘴等部件組成。等離子體發生器產生的高壓高頻能量在噴嘴鋼管內被激活和控制的輝光放電中產生低溫等離子體。等離子體通過壓縮空氣噴射到工件表面。當等離子體遇到待處理物體的表面時，物體會發生變化和化學反應。表面已清洗干凈，并有碳化氫污染物，如油脂和輔助添加劑等已經被移除。這些基因可以促進各種涂層材料的粘附，并在粘附和涂料應用中得到優化。在相同的效果下，通過應用等離子體處理表面可以獲得非常薄的高壓涂層表面，這有利于粘合、涂覆和印刷。不需要機械和化學處理等其他強作用部件來增加粘附性。
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